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纳米镀膜怎么去除掉(芯片晶圆硅片表面镀的膜如何去除?)

100次浏览     发布时间:2024-11-10 10:37:15    

晶圆是硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于漆形状是圆形,故称为晶圆,在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能之IC产品。

在芯片晶圆硅片加工过程中,需要在表面镀上一层膜,实现导电和保护的功能,这层膜非常薄。晶圆硅片退镀液是一种用于晶圆硅片镀膜不良返工退镀的环保产品;产品由有机酸、促进剂、剥离剂等组成,不含氢氟酸、硝酸等传统强酸,无磷、无重金属;产品温和不伤手,无色轻微气味,无酸雾挥发,适合各种氧化膜金属膜退膜,还原镀膜前素材状态;产品常温处理不需加热,不伤基材,不伤硅片高抛光镜面;退膜速度快,速度接近无机强酸退膜速度,材料易得,成本低,使用寿命长。

使用方法:

1.常温原液使用,处理时间通常5分钟-1小时不等,不同材质镀膜,退膜时间不同;

2.加热使用,或增加空气搅拌,退膜速度更快;

3.当退膜速度变慢时,可补充原液或更换槽液;

4.当皮肤不慎接触药液时,清水及时冲洗即可,皮肤不要长时间接触药液

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